אָטאַמאַטיק טעמפּעראַטור און הומידיטי קאָנטראָל
די טעמפּעראַטור און הומידיטי פון די ריין צימער זענען דער הויפּט באשלאסן לויט די פּראָצעס רעקווירעמענץ, אָבער אונטער די צושטאַנד אַז די פּראָצעס רעקווירעמענץ זענען באגעגנט, די מענטש טרייסט זאָל זיין גענומען אין באַטראַכטונג.מיט די פאַרגרעסערן אין לופט ריינקייַט באדערפענישן, עס איז אַ גאַנג אַז דער פּראָצעס האט מער און מער שטרענג רעקווירעמענץ אויף טעמפּעראַטור און הומידיטי.
ווי די מאַשינינג אַקיעראַסי איז געטינג פיינער און פיינער, די באדערפענישן פֿאַר די טעמפּעראַטור פלאַקטשויישאַן קייט ווערן קלענערער און קלענערער.פֿאַר בייַשפּיל, אין די ליטהאָגראַפי ויסשטעלן פּראָצעס פון גרויס-וואָג ינאַגרייטיד קרייַז פּראָדוקציע, די חילוק צווישן די טערמאַל יקספּאַנשאַן קאָואַפישאַנט פון גלאז און סיליציום ווייפער ווי די מאַטעריאַל פון די דייאַפראַם איז פארלאנגט צו זיין קלענערער און קלענערער.א סיליציום ווייפער מיט אַ דיאַמעטער פון 100μם וועט פאַרשאַפן אַ לינעאַר יקספּאַנשאַן פון 0.24μם ווען די טעמפּעראַטור ריסעס דורך 1 גראַד.דעריבער, עס מוזן האָבן אַ קעסיידערדיק טעמפּעראַטור פון ± 0.1 דיגריז.אין דער זעלביקער צייט, די הומידיטי ווערט איז בכלל פארלאנגט צו זיין נידעריק, ווייַל נאָך אַ מענטש סוועט, די פּראָדוקט וועט זיין פּאַלוטאַד, ספּעציעל פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער וואַרשטאַטן וואָס זענען דערשראָקן פון סאָדיום, דעם מין פון ריין וואַרשטאַט זאָל נישט יקסיד 25 דיגריז.
יבעריק הומידיטי ז מער פּראָבלעמס.ווען די קאָרעוו הומידיטי יקסידז 55%, קאַנדאַנסיישאַן וועט פאַלן אויף די וואַנט פון די קאָאָלינג וואַסער רער.אויב עס אַקערז אין אַ פּינטלעכקייַט מיטל אָדער קרייַז, עס וועט פאַרשאַפן פאַרשידן אַקסאַדאַנץ.עס איז גרינג צו זשאַווער ווען די קאָרעוו הומידיטי איז 50%.אין דערצו, ווען די הומידיטי איז צו הויך, די שטויב אויף די ייבערפלאַך פון די סיליציום וואַפער וועט כעמיש אַבזאָרבד דורך די וואַסער מאַלאַקיולז אין די לופט צו די ייבערפלאַך, וואָס איז שווער צו באַזייַטיקן.די העכער די קאָרעוו הומידיטי, די מער שווער עס איז צו באַזייַטיקן אַדכיזשאַן, אָבער ווען די קאָרעוו הומידיטי איז נידעריקער ווי 30%, די פּאַרטיקאַלז זענען אויך לייכט אַדסאָרבעד אויף די ייבערפלאַך רעכט צו דער קאַמף פון ילעקטראָוסטאַטיק קראַפט און אַ גרויס נומער פון סעמיקאַנדאַקטער. דעוויסעס זענען פּראָנע צו ברייקדאַון.דער בעסטער טעמפּעראַטור קייט פֿאַר סיליציום ווייפער פּראָדוקציע איז 35-45%.
